半導体産業向け、大面積ウェハ検査用
オックスフォード・インストゥルメンツは、産業用・研究用の高度な技術ソリューションを開発・製造し、グローバルに販売・サポートを展開しています。次世代半導体・新世代通信・高機能材料・ヘルスケア・ライフサイエンス・量子技術・宇宙科学などアプリケーションは非常に幅広く、よりグリーンな世界の早期実現をめざす様々なプロジェクトに当社のコア技術が採用されています。
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オックスフォード・インストゥルメンツ社アサイラム・リサーチは、QPDI（Quadrature Phase Differential Interferometry）カンチレバー・センシング・テクノロジーを搭載した初のAFMである「Vero (ヴェロ)」を発表しました。
ウェハ特性評価用ラマンイメージングがさらなる大型ステージへ
オックスフォード・インストゥルメンツ、日本の主要なパワーエレクトロニクスおよびRFデバイスファウンドリー数社からGaN向けALEおよびALDシステムを受注
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革新的なAZtecLiveケミカルイメージングがさらに新しくなりました。ステージを動かしながら、試料の形態と元素分布を同時かつ連続的に見ることができる唯一のシステムです。
究極のベンチトップ型共焦点顕微鏡 | Andorの新しいベンチトップ型共焦点顕微鏡は、ボタンを押すだけで素晴らしい画像を提供できます。このプラグアンドプレイ共焦点システムは、コスト、パフォーマンス、アクセシビリティを念頭に置いて設計され、使いやすい高品質の2Dおよび3Dイメージング機能が研究者の貴重な時間を節約します。
Jupiter XR は大型試料対応の原子間力顕微鏡(AFM/SPM)で、原子・分子レベルの「超高分解能」に加え、「高速スキャン」「広域スキャン」を兼ね備えた、基本性能に優れたAFMです。革新的かつ堅牢な最新設計に加え、独自のblue Drive 光熱励振タッピングにより、安定した再現性の高い測定が可能で、ナノラフネス 粗さ測定において、15時間 1000枚の連続測定を可能にします。
ProteoxLXは、量子コンピュータのスケールアップに必要な大容量のマイクロ波用同軸ケーブル配線に対応した大型無冷媒希釈冷凍機です。ベース温度は <7mK、冷却能力は850μW以上@100mKとなり、安定した超電導量子ビットの実現に大きく貢献します。
Atomfabは、GaNパワー半導体やRFデバイスなどに適した高速、低ダメージ、低い所有コストのプラズマALDプロセス装置です。原子スケールプロセス用に特別に設計された特許出願中のリモートプラズマソースを使用し、ALD (原子層堆積) 技術によりナノスケールの精密にコントロールされた超薄膜が提供され、微細な基板構造のコンフォーマルコーティングが可能です。
MQC+ TD-NMRは、サンプル中の油・水・フッ素・固体脂含量（SFC）を測定することができ、品質保証や品質管理に使用されることが多い装置です。近年、低磁場ということを利用した TD-NMR（時間領域NMR）による緩和特性の測定で、ポリマーの結晶化度/密度や分子量、微粒子の粒径や濡れ性などの材料の物理的性質の評価ができることから、研究開発分野で利用されることも多くなっています。
X-Pulseは、卓上型NMRに革新的な自由度をもたらします。X-Pulseを利用して、真の広帯域 X-nuclei 機能、フローケミストリー、反応モニタリング、および温度可変機能を組み合わせ、向上したスペクトル分解能で、ラボの卓上において幅広い実験を行うことが可能です。
alpha300 apyron は、WITec顕微鏡シリーズの中で最高位のラマンイメージングシステムです。装置の制御と決められた測定手順を自動化することで、使いやすさと究極の機能を兼ね備えています。これにより、観察手順が合理化され、比類のない速度、感度、解像度で再現性の良い結果が得られます。
