2026年6月8日
Oxford Instrumentsは、200mmウェハ生産向けの高度なエッチング技術を提供し、ロームのGaN内製化を支援しています
化合物半導体業界向けの高性能プラズマ処理ソリューションの主要プロバイダーであるOxford Instrumentsは本日、ローム株式会社が650V窒化ガリウム（GaN）パワーデバイスの製造を自社内製化するにあたり、同社を支援する役割を担うことを発表した。
ロームは、Oxford Instruments社の200mm GaNプラズマ原子層エッチング（ALE）技術を活用し、実績のあるプロセスを自社の量産環境に導入するとともに、200mmウェハーサイズへのスケールアップを進めています。
ロームは、200mm GaNデバイスの生産を自社内で行うようになった。
この戦略的措置は、ROHMグループ内にGaNの完全な一貫生産体制を構築するというROHMの目標に向けた大きな一歩となります。GaNパワーデバイスは、従来のシリコン技術に比べて、高効率、高速スイッチング、システム小型化といった大きな利点を持っています。ROHMはすでに、これらの利点を活かして高効率かつコンパクトなパワーソリューションを提供する「EcoGaN™」シリーズを供給しています。 本取り組みにより、ROHMは供給能力を強化し、電気自動車（eV）、AIサーバー、産業用電源システムなど、幅広いアプリケーションにおいて急速に拡大する高効率パワーデバイスの需要に応えることが可能となります。
Oxford Instrumentsの業界をリードするALE技術と、LayTec社との独占的提携によるリアルタイム光学イン・シチュ・モニタリング技術「EtchpointTM」を組み合わせることで、GaNデバイスメーカーは、ALE後の残留膜厚を±0.5 nmの精度で制御することが可能になります。 これらの世界初の統合技術は、ロームが自社のファブにこの先進的なプロセス技術を導入し、高度なGaNデバイスアーキテクチャの再現とスケールアップに必要な最先端の加工を実現するために不可欠です。
「ROHMとOxford InstrumentsのGaN研究開発における協力関係は、量産体制への移行に向けた準備へと拡大しており、ROHMがGaN製造を自社内で行うという決定は、パワーエレクトロニクス業界にとって重要なマイルストーンとなります」と、Oxford Instruments・アドバンスト・テクノロジーズの社長、マット・ケリー氏は述べています。 「当社の先進的なエッチングソリューションは、200mmウェハの大量生産環境において、超低ダメージエッチング、原子レベルでの精度、高い均一性、および再現性を実現するよう特別に設計されています。ロームが次世代GaNパワー技術に向けた堅牢で大規模な製造プラットフォームを社内に構築する取り組みを支援できることを誇りに思います。」
「当社は、完全に統合された自社内GaN生産プラットフォームの確立という戦略を推進するにあたり、業界をリードするALE技術で当社の取り組みを支えてくれるOxford Instrumentsとの協業を強化できることを嬉しく思います。主要な製造プロセスを自社内で行うことで、技術と品質に対する管理を強化し、供給能力を高め、急成長するGaN市場における競争力を向上させることを目指しています。 この取り組みにより、電気自動車やAIインフラなどの用途に向けた高効率パワーソリューションの提供を加速させることが可能になります」と、ROHM株式会社の執行役員である浜澤康氏は述べた。「当社は、より高い性能を提供し、エネルギー効率の向上に貢献するため、GaN技術の開発を引き続き推進していきます。」
（本リリースは英語版を基に日本語に翻訳したものです。）
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グラント・ボールドウィン、マーケティング責任者
Oxford Instruments Plasma Technology
Oxford Instruments社について
Oxford Instrumentsは、材料分析、半導体、ヘルスケア・ライフサイエンスという主要市場分野において、世界中の学術機関や企業に対し、市場をリードする科学技術と専門知識を提供しています。 イノベーションは、Oxford Instrumentsの成長と成功の原動力であり、世界により明るい未来をもたらす画期的な進歩を加速させるという当社の核心的な使命を支えています。世界をより環境に優しく、より健康で、より生産的なものにするための新たな方法を精力的に模索する動きは、世界的な生産性向上と脱炭素化を支える新素材や新技術への前例のないレベルの研究開発投資を牽引しており、Oxford Instrumentsにとって大きな成長の機会を生み出しています。
Oxford Instrumentsは、世界的なトレンドを先取りし、学術研究者と産業応用エンジニアを結びつける独自の立場にあり、現実世界の進歩を推進する触媒としての役割を果たしています。1959年にオックスフォード大学からスピンアウトした最初のテクノロジー企業として設立されたOxford Instrumentsは、現在、ロンドン証券取引所のFTSE250指数に上場するグローバル企業（OXIG）となっています。
ローム株式会社について
半導体および電子部品のリーディングカンパニーであるロームは、1958年に設立されました。自動車や産業機器市場から民生用・通信分野に至るまで、ロームはグローバルな販売・開発ネットワークを通じて、優れた品質と信頼性を備えたIC、ディスクリート、電子部品を提供しています。 アナログおよびパワー市場における当社の強みを活かし、周辺部品（トランジスタ、ダイオード、抵抗器など）と最新のSiCパワーデバイス、そしてその性能を最大限に引き出す駆動ICを組み合わせた、システム全体に最適化されたソリューションをご提案いたします。詳細については、www.rohm.com をご覧ください。
ROHMの EcoGaN™
ROHMのGaNデバイスのブランド名。GaNの特性を最大限に活かし、アプリケーションの低消費電力化、周辺部品の小型化、および部品点数の削減による設計の簡素化を実現することで、省エネと小型化に貢献します。
EcoGaN™は、ローム株式会社の商標または登録商標です。