先進的なプラズマプロセス技術を有するOxford Instrumentsと、先端エレクトロニクス製造分野で豊富な実績を持つ伯東株式会社との提携により、日本の半導体業界におけるお客様への支援を強化します。

化合物半導体業界向けの高性能プラズマ処理ソリューションの主要プロバイダーであるOxford Instrumentsは本日、ローム株式会社が650V窒化ガリウム（GaN）パワーデバイスの製造を自社内製化するにあたり、同社を支援する役割を担うことを発表した。

2026年度オックスフォード・インストゥルメンツの予算申請用カタログが完成しました。目的やご予算に応じた最適な機器をスムーズに比較・検討いただけます。予算の検討・次期設備導入のご検討に、ぜひご活用ください。