Oxford Instrumentsは、200mmウェハ生産向けの高度なエッチング技術を提供し、ロームのGaN内製化を支援しています
化合物半導体業界向けの高性能プラズマ処理ソリューションの主要プロバイダーであるOxford Instrumentsは本日、ローム株式会社が650V窒化ガリウム（GaN）パワーデバイスの製造を自社内製化するにあたり、同社を支援する役割を担うことを発表した。
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オックスフォード・インストゥルメンツは、産業用・研究用の高度な技術ソリューションを開発・製造し、グローバルに販売やサポートを展開しています。その歴史は、英国のオックスフォード大学から独立し創業を果たした1959年に遡り、以来長年にわたり、イノベーションは当社の成長と成功の原動力となってきました。次世代半導体・次世代通信・高機能材料・ヘルスケア・ライフサイエンス・量子技術・宇宙科学までアプリケーションは幅広く、当社はそのコア技術を通じて、よりグリーンな世界をめざすお客様の取り組みを支援しています。
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