小間番号：East Hall 3　E3311

● NEW！誰もが利用できる大型試料対応AFM「Jupiter Discovery」★実機デモ展示あり★

● NEW！ナノインデンター「iX05」★実機デモ展示あり★

● 半導体から生命科学まで妥協なき最高の速度・感度のラマン顕微鏡で2D/3D化学特性評価を「witec360」「witec360 semicon Edition」★実機デモ展示あり★

出展製品

次世代半導体製造プラズマ技術

• 高精度なSiC/GaN-HEMT製造に原子層堆積(ALD)/原子層エッチング(ALE)

半導体製造を最適化する特性評価ソリューション

• 極微ラフネス・L/S形状測定に原子間力顕微鏡（AFM）　
• 大面積ウェハの応力・ドーピング分布解析にラマン顕微鏡
• ウェハ表面の各種薄膜の弾性率・硬さ評価にナノインデンター　
• プリント基板断面の高解像度・高速広域マップ解析にBEXイメージング
• SRAMデバイスの高解像度SEM-EDSマップ解析やGaN薄膜の転位解析にEDS/EBSD
• ウェハ上の有機異物解析に
  SEM-共焦点ラマン複合装置