高度な製造技術が求められる分野において清浄度管理は重要です。しかし、技術の進歩と共に対象とされる異物サイズは小さくなり、 SEM/EDSを用いた方法では難しくなっています。
そこでTEM/EDSによる解析が注目されており、TEM/EDS解析を効率良く行うために異物の位置を迅速かつ正確に把握するローカリゼーション法と組成分析手法の組み合わせが極めて重要になります。
オックスフォード・インストゥルメンツでは大口径でダメージが少ないEDSを始め、この課題を解決するために最適な装置を提供しています。
「Jupiter XR」AFM システムが提供する「広域・高速スキャン」、「光熱励振タッピングモード」、「座標補正機能」、「オートパイロット」などの機能が、従来 AFM の常識を覆すスピードと精度でナノメートルサイズの欠陥・異物を検出します。
他の欠陥検査装置で得た座標をアップロードし、”スタート”ボタンを押すだけです。Ergoは各点を自動測定するだけでなく、AutoPilot™(オートパイロット)アルゴリズムにより最適化されたスキャンパラメータで高品質で一貫性のあるデータを生成します。
光学顕微鏡に取付けて微細なマーキング / 加工が可能です。
フォトニックインストゥルメンツ株式会社(半導体用MicroPoint国内代理店)のWebsiteが開きます。
半導体評価において、デバイスの信頼性や寿命を検討する上で電気特性評価は重要な評価法の一つです。オックスフォード・インストゥルメンツでは、局所的な絶縁破壊試験やキャリア濃度及びドーパントタイプ(p-type vs n-type)等の情報を評価するためのユニークなツールを提案しています。
SCMは、マイクロ波RF信号を利用して、半導体などの電荷キャリアの位置、ドーパント濃度およびドーパントタイプ等をナノ領域で可視化するイメージング技術です。
Nano-TDDBは、ナノスケールの精度で誘電体薄膜の破壊電圧を検出でき、その特性評価が可能です。導電性AFMプローブを流れる電流をモニタリングしながら、最大±220 V の一定または勾配変化させたバイアスを印加できます。