BEX/EDSによる鉄鋼材料の微細偏析分析 - EPMAやTEM分析の世界にSEMはどこまで迫るか

BEX、反射電子(BSE)とX-rayによる新技術は、走査電子顕微鏡（SEM）における元素分析に革命をもたらしています。革新的な設計と感度・取得速度の向上を活かすBEXは、SEMの分析能力を大幅に拡張し、透過電子顕微鏡（TEM）や電子プローブマイクロアナリシス（EPMA）といった従来技術に追加する強力な新手法を提供します。

本ウェビナーではまず、BEX技術とエネルギー分散型分光法（EDS）と組み合わせて、分析課題解決のためにどのようにこれらを使用するかについて学びます。特に焦点を当てるのは、鉄鋼材料における微細偏析の分析です。この応用分野は、従来のSEMベースの手法にとって通常、非常に難しい課題をもたらします。従来このような分析は、より優れた感度を提供するEPMA、あるいは優れた空間分解能で知られるTEMに依存してきました。しかし、これらの手法には、試料の準備、分析範囲と偏析スケールの不一致、コスト、取得時間に関連する制限を伴います。

次に、BEX-EDS技術がこれらの制約なしに追加的な解決策を提供する方法、および卓越した空間分解能と感度を備えた元素分析を実現する仕組みを解説します。

本ウェビナーはオックスフォード大学（英国）およびロレーヌ大学（LEM3 フランス）との共同開催です。オックスフォード大学の博士課程学生であるアンジュリ・バリ氏（原子炉部品の応力腐食割れ（SCC）を研究）が登壇します。LEM3（フランス）のナタリー・ゲイ博士とアラン・アゾット教授は、積層造形法で製造されたマルテンサイト系工具鋼における偏析分析の結果を共有します。

本ウェビナーでは以下の内容を学びます：