SEMにおけるBEXとEDSを用いた微細偏析鋼分析―EPMAおよびTEMに代わる手法か？

新たな後方散乱電子・x-ray（BEX）技術は、走査型電子顕微鏡（SEM）における元素分析に革命をもたらしています。革新的な設計と感度・取得速度の向上を活かすことで、BEXはSEMの分析能力を大幅に拡張し、透過型電子顕微鏡（TEM）や電子プローブマイクロアナリシス（EPMA）といった従来技術に追加する強力な新手法を提供します。

本ウェビナーでは、まずBEX技術と、分析課題解決のためにエネルギー分散型分光法（EDS）と組み合わせて使用する方法について学びます。特に焦点を当てるのは、鋼材における微細偏析の分析です。この応用分野では、従来のSEMベースの手法では通常、重大な課題が生じます。従来、このような分析には、より優れた感度を提供するEPMA、あるいは優れた空間分解能で知られるTEMが依存してきました。しかし、これらの手法には、試料準備、分析領域と偏析スケールの不一致、コスト、取得時間に関連する制限も伴います。

本ウェビナーでは、BEX-EDS技術がこれらの制約なしに追加的な解決策を提供し、卓越した空間分解能と感度を備えた元素分析を実現する方法を解説します。

本ウェビナーはオックスフォード大学（英国）およびロレーヌ大学（LEM3 フランス）との共同開催です。オックスフォード大学の博士課程学生であるアンジュリ・バリ氏（原子炉部品の応力腐食割れ（SCC）を研究）が登壇します。LEM3（フランス）のナタリー・ゲイ博士およびアラン・アゾット教授は、積層造形法で製造されたマルテンサイト系工具鋼における偏析分析の結果を共有します。

本ウェビナーでは以下の内容を学びます：