Apr 23, 2021

脱炭素社会に向けてーFIB-SEM関連ブログとウェビナーのご案内

世界では脱炭素社会に向けた様々な取り組みが進んでいます。太陽電池材料の開発では、材料の欠陥や不純物が電荷キャリアの再結合中心となり、最終製品に大きな影響を与えます。多結晶シリコン(mc-Si)の性能に影響を及ぼす欠陥は、点状の欠陥(粒子状の不純物など)、線状の欠陥(転位)、面状の欠陥(粒界など)です。EDSを使えば化学的性質に基づいて素早く識別することができますが、粒界や転位の欠陥を素早く評価することは困難です。FIBは、ナノマニピュレーターと組み合わせることでサンプルの特定箇所に正確に接触できます。

 

「太陽電池材料の欠陥を特定する」
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ご存知ですか?
上記ブログで紹介しているナノマニピュレータ―は、FIBのリフトアウト法でTEM用試料を作成するツールとしてよく知られています。この他にもバイアスを利用した実験や試料の帯電軽減など様々な用途があるのをご存知ですか?今回のウェビナーでは、当社のナノマニピュレータ― OmniProbeファミリーを軸に、様々なアプリケーションをご紹介します。ナノスケールでの操作や電気特性評価の世界をぜひご覧ください。

 

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