展示会

オックスフォード・インストゥルメンツ（株）は、2023年12月13日（水）から開催されるSEMICON Japan 2023に出展します。

開催概要

会期：2023年12月13日（水）～15日（金） 10：00～17：00

会場：東京ビッグサイト（東展示棟）

〒135-0063 東京都江東区有明3丁目11-1

アクセス

主催：SEMIジャパン

当社の出展概要

当社の小間番号：5609

出展製品

SiC/GaN-HEMT 次世代半導体製造

プラズマ技術ソリューション

• 原子層堆積(ALD)/原子層エッチング(ALE)
• プラズマ研磨ドライエッチングシステム

半導体製造を最適化する

特性評価ソリューション

• 原子間力顕微鏡（AFM）　【実機展示】
• ラマン顕微鏡　【実機展示】
• EDS/EBSD

ブーススケジュール

Jupiter XR
大型試料対応ステージ型
原子間力顕微鏡

PlasmaPro 100 Cobra
プラズマ研磨
ドライエッチングシステム

NEW

alpha300
Semiconductor Edition
大面積ウェハ検査用
ラマンイメージング顕微鏡

NEW

PlasmaPro ASP
原子層堆積（ALD）

SEMICON Japanとは？

DX 時代を支え、先端技術のコアである半導体を主軸に、2023年もSEMICON Japan を開催します。半導体産業における製造技術、装置、材料をはじめ、車やIoT 機器などのSMART アプリケーションまでをカバーします。

SEMICON Japan 2023 ウェブサイト

• 来場登録
  ご来場の際には、事前にウェブサイトから来場登録をお願いします。