半導体デバイス製造

イオンビームエッチングは、優れた均質性を持ちながら最大の柔軟性を有し、広範な用途分野に適しています。当社のシステムには、大気装入、単一基板真空予備室、そしてカセット交換方式を含む、柔軟なハードウェアのオプションがあります。システムの仕様は、用途に合わせて綿密に調整され、迅速かつ再現性のある結果を実現します。

PlasmaPro 100 PECVD システムは、屈折率、応力、電気特性、ウェットケミカルエッチング速度などの膜特性を制御し、優れた均一性を持つ高品質な薄膜製造用の特別に設計されたシステムです。当社の最先端のプラズマ CVD システムは、絶縁膜のパッシベーション（例：SiO2、SixNy）、炭化ケイ素、アモルファスシリコン、ハードマスク蒸着、反射防止コーティングに適しています。

LayerProbe は SEM での薄膜分析のための刺激的なソフトウェアツールです。AZtec EDS マイクロアナリシスシステムのオプションである LayerProbe は、薄膜測定専用のツールよりも高速で、より費用対効果が高く、高分解能です。

AndorのMechelle ME5000分光器は、1回のデータ取得で広波長範囲（200～975 nm）をカバーするように設計されています。可動部品はなく、あらかじめ調整されている検出器/分光器フォーマットでご利用頂けます。

PMT、PbS、MCTなどのな範囲のシングルポイント検出器によるUVから長波IR (LWIR) までの領域にわたる検出性能を持つSolis Scanningは、スキャニングアプリケーション専用のプラットフォームを提供します。

OmniProbe 350は、クローズドループフィードバック付きピエゾモーターを搭載した3軸、ポートマウント型マニピュレーターで、ルーチンのTEMラメラ作成に最適です。精密で直感的なコントロールにより、ダメージやサンプルの損失のリスクなく、迅速かつ確実な作業を行うことができます。

AZtecTEM は、高度な TEM アプリケーション向けに特別に最適化された革新的な EDS ソフトウェアです。 AZtecTEM は、ナノスケールでの材料の特性評価に対する独自のシステム的アプローチです。30 年以上にわたるオックスフォード・インストゥルメンツの TEM 技術の経験に基づく AZtec には、TEM 向けの次世代 EDS システムに期待されるもののすべてが含まれています。

科学用グレードの1024 x 255高速分光用CCDカメラは、蛍光やラマン分光法をはじめとする高速解析、多チャンネル、及び微弱光アプリケーションに最適です。前面（開放電極）および背面照射型とディープディプレッションセンサーオプションの420シリーズの波長範囲は、UVから可視光、近赤外領域まで最適化された性能を提供します。

AZtecLiveOneソフトウェアプラットフォームは、EDSのような複雑なタスクを可能な限り迅速かつ簡単にするための理想的なソリューションです。 膨大なトレーニングやEDSの高度な知識は必要ありません。 お客様はわずかなトレーニングで、信頼性のある結果が得られます。

Symmetry S2は市場における唯一の純正オールインワンEBSD検出器で、革新的なSymmetry検出器をベースとした、最先端のCMOS技術を搭載した世界初のEBSD検出器です。 すべてのEBSDアプリケーションに対応する優れた性能と、使いやすさ、革新的な機能設計を兼ね備えています。

PlasmaPro 100 Cobra ICP RIE システムでは、高密度誘導結合プラズマを使用して、高速なエッチングレートを実現します。このプロセスモジュールは、GaAs や InP レーザーオプトエレクトロニクス、SiC や GaNのパワーエレクトロニクスや RF デバイス、MEMS やセンサーなど、多くの分野で使用されている、 200 mm までのウェハサイズに対応し、優れた均一性、高スループット、高精度、低ダメージのプロセスを提供しています。

The X-MaxN シリーズの TEM 向け SDD は、新しいセンサ素子、新しいエレクトロニクス、および革新的なパッケージングを活用して、真に⌈次世代の⌋ SDD 性能を実現しています。

アサイラム・リサーチの MFP-3D-BIO は、バイオサイエンス研究用に AFM と光学顕微鏡を統合するという製品の基準を打ち立てました。この製品は、AFM のイメージング分解能やフォース測定性能、アプリケーションの多様性を妥協することなく、あらゆる種類の光学技術とシームレスに統合させた唯一のバイオ AFM です。 アサイラム・リサーチの専門家による比類のないサポート体制と相まって、この製品は、お客様の研究を推進するうえで最良かつ最も生産的な…

Andor Shamrock SR-500iイメージング分光計は、ツェルニー・ターナ型光学設計がベースになっています。最適化された光学設計は、マルチトラック分光向けに優れた性能を提供します。Shamrock 500iは、ユーザのセットアップでシームレスな統合を可能にするように、あらかじめ調整およびキャリブレーションされているカメラ/分光計検出ソリューションとして提供されています。

AndorのKymera 193i分光器は、研究グレードの性能、汎用性、と使いやすさを念頭に設計されています。「インテリジェントな」電動アダプティブフォーカス機能により、どのような構成でも他に類をみない再現性で最高の分光分解能を実現しています。

Jupiter XR は大型試料対応の原子間力顕微鏡(AFM/SPM)で、原子・分子レベルの「超高分解能」に加え、「高速スキャン」「広域スキャン」を兼ね備えた、基本性能に優れたAFMです。革新的かつ堅牢な最新設計に加え、独自のblue Drive 光熱励振タッピングにより、安定した再現性の高い測定が可能で、ナノラフネス 粗さ測定において、15時間 1000枚の連続測定を可能にします。

sMIM（Scanning Microwave Impedance Microscopy, 走査型マイクロ波インピーダンス顕微鏡）により、金属、半導体、絶縁体におけるナノスケールの誘電率や導電率のマッピングが可能となります（MFP-3D Originを除く全MFP-3D モデルに対応）。

高い品質のデータを収集することは、EBSD解析の第一歩です。AZtecCrystalはEBSDデータを処理・解析するために必要な全てのツールを備え、材料に関する問題を解決します。 AZtecHKLとシームレスに連携し、かつスタンドアローンのプログラムとしても操作できるAZtecCrystalは、エキスパートから初心者のユーザーの方まで、標準的なEBSDデータ解析ツールとなります。

Cypher VRS1250は、初代Cypher VRSの2倍の速さである最大1250ライン/秒でスキャンを行います。これにより、最大45フレーム/秒のフレームレートでより高い時間分解能を実現することや、より低いフレームレートでさらに多くの画像ピクセルを収集して空間分解能を向上させることが可能です。超安定イメージングや、かん流機能付きの使いやすい完全密閉サンプルセル、充実したモードやアクセサリーが利用可能なCypher…

科学用グレードの1024 x 127ディープディプレッション分光用CCDカメラは、蛍光やラマン分光法をはじめとする高速解析マルチチャンネル微弱光アプリケーションに最適です。401シリーズは、前面および背面照射型およびディープディプレッションセンサーオプションのUVから可視光、近赤外領域まで最適化な性能を提供します。

3次元EDS/EBSD解析 AZtec3D は EDS と EBSD の同時データ収集と分析を FIB-SEM の自動ミリング機能と組み合わせたものです。

MFP-3D Origin™は、既存の低価格帯 AFM と競争力のある価格設定ながら、アサイラム・リサーチならではの高性能・高品質を特長としたモデルです。MFP-3D Origin は、性能と価格のバランスをとりながら、高分解能イメージングの提供、大きなサンプルのハンドリング、多彩なイメージングモード、および多様なアクセサリをサポートしています。 AFM を使い始めるにあたっての最高の入門モデルです！

革新的なUSB 3.0 iStar sCMOSは、（同等の画素マトリクスサイズで）競合するCCDまたはインターラインプラットフォームより50%以上高速のフレームレートを誇ると同時に、本質的に低いノイズフロアーを実現しています。インテンシファイアの増幅ゲインを下げることでＳ/Ｎ比の改善を実現し、他社には類を見ないダイナミックレンジ性能を達成しています。また、「デュアルフレーム」機能も備えており、300…

Andor Solis (s) は、分光法アプリケーションに適したソフトウェアプラットフォームです。ユーザーが取得をすばやく設定し、データーをキャプチャし、ユーザが使いやすいように結果を表示および処理できるように特にカスタマイズされています。ユーザーは、直接的かつ応答性の高い方法でAndorの分光器を制御することもできます。

Relateは、電子顕微鏡像、EDS、EBSD、AFMのデータや画像を扱うために最適化された相関ソフトウェアパッケージです。  異なる顕微鏡からのデータを相関させ、2Dおよび3Dの多層データを可視化し、相関解析を行うために必要なツールを提供します。

Andor Shamrock SR-750は、ツェルニー・ターナ型光学設計がベースになっています。Shamrockは、ソフトウェア、電子機器、レンズ、および検出器のシームレスな統合を可能にするあらかじめ調整されている検出器／分光計オプションとして提供されています。すべての分光機能のフル制御を可能にする対話型の高速グラフィカルソフトウェアインタフェースもあります。

Cypher ES ポリマーエディションは、特にポリマーサイエンスの研究分野で優れた結果を生み出すよう、Cypher ES AFM の構成を最適化したモデルです。本モデルは Cypher ES の持つ並外れた性能と汎用性を共有していますが、その他に blueDrive 光熱励振、NanomechPro ツールキットよりナノメカニカル特性評価用の強力なツール 3…

Andorソフトウェア開発キット(SDK)は、プログラマーにAndorのカメラおよび分光器などへのアクセスを提供します。SDKの重要部は、C、C++、C#、Visual Basic、LabVIEWなどの幅広いプログラミング環境で使用できるダイナミックリンクライブラリです。Windows、LabVIEW、Matlab、またはLinux向けに個別の専用SDKが提供されています。使用しているプラットフォームを注文時に指定してください。

Andor iDus InGaAs 491アレイシリーズは、最大1.7または2.2 μmまでの分光アプリケーション向けに、最もコンパクトで最適化された研究グレードのプラットフォームを提供します。この電子冷却の真空封じ切りヘッド内のセンサーは、-90°Cの冷却温度に達し、このスペクトル領域の大多数のアプリケーション向けに最高のＳ/Ｎ比を実現します。

Andorの新しいiDus 416プラットフォームは、非常に小さい暗電流と非常に高いQEの他社には見られない組み合わせを誇り、近赤外領域で無類の感度を提供します。これによりNIRラマンとフォトルミネセンスに最適な検出器となっており、取得時間を大幅に短縮し、不便なLN2冷却を不要にします。

ウインドウレス型EDS検出器 SEM 用 EDS における究極の空間分解能と低加速電圧での性能。Extreme のエレクトロニクスと最適化された構成およびセンサ設計のウィンドウレス構造を組み合わせることにより、従来の大面積 SDD の最大 15 倍の感度を実現することができます。

EDS・EBSD同時データ収集 AZtecSynergy は、EDS と EBSD のデータを同時に収集するための強力なソリューションとなっています。優れた統合データを収集するためのすべてのツールは １ か所に置かれており、特定のナビゲータから他のナビゲータへの複雑な切り替えは不要です。

MFP-3D Origin+ は既存の低価格帯AFMと競争力のある価格で、高性能かつ幅広い機能を提供します。MFP-3D Origin+ は、あらゆる研究分野に対応できる極めて汎用性の高い、研究用高性能 AFM です。MFP-3D Origin と同じコア性能となりますが、革新的な MFP-3D 用アクセサリのすべてをサポートしていることが大きな特長です。同じような低価格帯の他社製AFMは、多くの場合、性能面で劣り、かつ機能一式が非常に限られているのに対し、MFP-3D…

AndorのiStar 340Tインテンシファイア付 CCDセンサーシリーズは、高分解能のnsスケール時間分解分光法向けに究極の一体型検出ソリューションを提供するように設計されています。画素サイズが13.5 µmの2048 x 512の高分解能アレイは、AndorのShamrock Czerny-Turner分光器シリーズおよびアクセサリとの使用に最適な4:1のアスペクト比を提供します。

TEM アプリケーション向けの本ウィンドウレスシリコンドリフト検出器センサは、0.3 ∼ 0.7 ステラジアン* の範囲の検出立体角を実現することができます。スペクトル範囲全体、特に軽元素の優れた検出効率は、すべてのエネルギー領域でのより多くの計数率を意味しています。 *構成、ポールピースと TEM に依存します。TEM 検出器の性能についての最も重要な測定値はその立体角になります。立体角は顕微鏡とポールピースの設計によって異なります。…

PlasmaPro 80 リアクティブイオンエッチング（RIE）は、コンパクトな省スペースのシステムであり、多様なエッチングとデポジションのソリューションを、使い易い大気装入方式で実現できます。設置や使用が簡単ですが、プロセスの品質はそのままです。大気装入設計は、迅速なウェハー装入と抽出を可能にし、研究やプロトタイプ、少量生産に理想的です。最適化された電極冷却および優れた基板温度の制御により、高性能プロセスを実現します。

EBSD分析ソフトウェア 最もパワフルなEBSDソフトウェアであるAZtecHKLは、ルーチン分析のためのスピードと結果の正確さ、そしてEBSDの限界を押し広げるアプリケーションに必要な柔軟性とパワーを兼ね備えています。

アサイラム・リサーチの Cypher ES は、抜群の性能を誇る Cypher S のプラットフォームにフル装備の環境制御機能を拡張追加したモデルです。Cypher S と同じ高分解能、スピードそして安定性を持ちながら、0 ∼ 250°Cの温度範囲において制御された、ガス・液体雰囲気環境や厳しい化学的環境の中でも、容易に操作が可能です。Cypher ES は、最も過酷な実験要件を満たすための究極の…

ORCA™コンダクティブAFMプローブホルダにより、すべてのMFP-3D AFM/SPM で、コンダクティブAFMイメージングおよびI-V測定をご利用いただけます。標準モジュールでは約1 pA〜20 nAの電流を測定できます。異なる電流測定範囲を持つモデルやデュアルゲインモデルも用意しております。

Shamrock 163は、市場で最もコンパクトな研究グレードのツェルニー・ターナ型分光器です。焦点距離163 mm、F/3.6という大口径比、シームレスに交換可能な各種のグレーティング、スリット、および光カップリングアクセサリーにより、一般的なベンチトップ分光測定に理想的なツールとなっています。

Newton 920は、電子冷却で-100°Cと最も広範なセンサーオプションを提供し、毎秒1600超のスペクトルを取得できるNewton分光用CCDであり、市販品中で最高能を発揮します。

Newton 970は、分光アプリケーションに無類のEMCCD性能を提供します。電子冷却で-100°C 、16µmのピクセルサイズで1600 x 200アレイで、暗電流を最小に抑え唯一無二の性能を発揮します。

AndorのiStar 320Tインテンシファイア付CCDカメラシリーズは、高分解能のnsスケール時間分解分光法向けに究極の一体型検出ソリューションを提供するように設計されています。このシリーズは、ラップトップPCでも使いやすいUSB 2.0接続と完全一体型のソフトウェア制御デジタル遅延発生器とともに322スペクトル／秒超での取得を可能にするマルチメガヘルツの読み出しを提供します。

製薬およびバイオメディカル業界では、紙媒体と同等の信頼性の高い電子記録がEDSシステムとして求められています。AZtecPharmaは、製薬およびバイオメディカル業界の高まる要求に対応できるよう設計されています。:

Andor Solis (t) ソフトウェアプラットフォームは時間分解研究向けのオプションで、iStarカメラファミリの制御を可能にする追加機能を備えています。アプリケーションは、レーザ誘起ブレークダウン分光法 (LIBS)、レーザ誘起蛍光法 (LIF)、燃焼、時間分解共鳴ラマン分光法などがあります。

ORCA™ は Cypher AFM/SPM で利用でき、コンダクティブAFMイメージングやI-V測定が可能です。標準モジュールでは約1 pA〜20 nAの電流を測定できます。異なる電流測定範囲を持つモデルやデュアルゲインモデルも用意しております。

AndorのiStar 334T高速ゲートインテンシファイア付CCDシリーズは、高分解能のnsスケール時間分解イメージング向けに究極の一体型検出ソリューションを提供するように設計されています。1024 x 1024アレイは、プラズマ解析、LIBSをはじめとする幅広い時間分解アプリケーションに最適です。

Newton 940分光法CCDカメラシリーズは、電子冷却で-100°Cで26 µmまたは13.5 µm画素の1024 x 255または2048 x 512アレイを使用し、暗電流を最小に抑え、分光アプリケーションに無類の性能を発揮します。

PlasmaPro 100 RIE モジュールにより、広範なプロセスに対応した等方性・異方性ドライエッチングが実現します。研究および製造のお客様に適しており、ロードロックおよびカセット方式オプションにより、プロセスの再現性を向上させる制御環境を提供します。

アサイラム・リサーチのCypher S は Cypher AFM ファミリーのベースモデルです。 Cypher S は製品 AFM の中で、業界初の高速スキャンニングモデルであり、Cypher AFM ファミリーは、全測定モードおよびアクセサリに対応した、唯一のフル機能搭載高速スキャニングAFMでありつづけます。また、Cypher AFM ファミリーは、他の…

レーザー干渉変位計測（IDS; Interferometric Displacement Sensor）はCypher AFM/SPM のオプションであり、従来の光てこによるたわみ検出法（OBD, optical beam deflection）で使用されるカンチレバー角度の代わりに、カンチレバーのたわみ (deflection) を直接測定します。IDSは静電結合によるアーティファクトを排除し、特に圧電応答力顕微鏡（PFM）や…

AZtecWaveは、スピーディでフレキシブルなEDS分析に、WDS独自のピーク分離や微量元素定量の能力を組み合わせます。Wave WDSは、SEM用として最高のスペクトル分解能を持ち、X線ピークのオーバーラップ解決や、より低い検出限界を実現します。高カウントレート条件下でも最高の精度を発揮するEDS検出器Ultim Maxは、Waveとの組み合わせにより、マイクロアナリシスシステムとして世界最高レベルの性能を発揮します。

-100°C 電子冷却に加え16 x 16 µm画素サイズの1600 x 400ピクセルの最高感度EMCCD分光用検出器を提供します。プラグアンドプレイUSBインタフェースにより最大3MHzまで読み出し速度の、データ読み出しが可能です。

当社のイオンビームデポジション製品は、高品質で高密度かつ滑らかな表面を持つ、薄膜デポジションを実現することで、選んでいただいています。イオンビーム技術は、単一ツールで最大限のシステム活用が可能で、エッチングやデポジションに対して、非常に多様な手法を提供できます。当社のシステムには、大気装入、単一基板真空予備室、そしてカセット交換方式を含む、柔軟なハードウェアのオプションがあります。システムの仕様は、用途に合わせて綿密に調整され、迅速かつ再現性のある結果を実現します。

当社の主力製品である TEM 用 SDD 検出器、X-MaxN 100TLE は、ナノサイエンスの最前線で利用されている電界放出型および収差補正 TEM 向けに最適なソリューションです。

AZtecWaveは、X線ピークを分離し微量元素を定量できるWaveスペクトロメーターの高いスペクトル分解能と、EDSのスピード・柔軟性を兼ね備えています。これにより、高度で完全なSEMによる組成分析ソリューションが実現します。 EDSとWDSはAZtecWaveソフトウェアで完全に統合されています。高速かつ高精度なEDS（Tru-Q®搭載）で主要元素を迅速に計測し、EDSの解析能力が限界に達するような分析において有効にWDSを活用することができます：

物理・生命科学向けのインテリジェントなマルチモーダル分光プラットフォーム

3Dプリンタ用材料解析ツール AZtecAMは、3Dプリンタに使用される金属粉末の分析を自動化した多機能ソリューションです。AZtecAMは、AZtecFeatureをベースに、金属粉末の迅速かつ正確な特性評価を可能にするために、粒子分析ワークフローを最適化します。 AZtecAMは、粉体中の汚染物質の検出と同定、粉体の粒子形態の特徴付け、個々の粒子の詳細な調査に最適です。お客様の3Dプリントプロセスと製品が最高品質であることを保証するために必要なすべての情報を提供します。

Symmetry S3は市場における唯一の純正オールインワンEBSD検出器で、革新的なSymmetry検出器をベースとした、最先端のCMOS技術を搭載した世界初のEBSD検出器です。 すべてのEBSDアプリケーションに対応する優れた性能と、使いやすさ、革新的な機能設計を兼ね備えています。