Oxford Instrumentsは、200mmウェハ生産向けの高度なエッチング技術を提供し、ロームのGaN内製化を支援しています
化合物半導体業界向けの高性能プラズマ処理ソリューションの主要プロバイダーであるOxford Instrumentsは本日、ローム株式会社が650V窒化ガリウム(GaN)パワーデバイスの製造を自社内製化するにあたり、同社を支援する役割を担うことを発表した。
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