2025年11月17日

Oxford Instrumentsが、コヒーレント社による6インチインジウムリンデバイスの製造において世界トップクラスの性能達成をいかに実現しているかをご覧ください。

Oxford Instrumentsは、次世代AIアプリケーションを実現する6インチInPウエハー加工向けに、最先端の完全自動化加工装置をコヒーレントに提供しています。

Oxford Instruments（OXIG）は、化合物半導体産業向け先進プラズマ処理ソリューションの主要プロバイダーとして、光デバイス向け業界初の完全自動化6インチリン化インジウム（InP）ウエハー製造能力の実現において主導的役割を担っていることを発表しました。この取り組みは、化合物半導体および高性能光ネットワークソリューションの世界的リーダーであるコヒーレント社（NYSE: COHR）が主導しています。

Oxford Instrumentsの最先端プラズマ処理装置は、テキサス州シャーマンとスウェーデン・イェルファラにおける6インチInPファブ増産というコヒーレントの画期的な成果の中核をなす。これらのファブは、AIデータセンター、通信、センシングアプリケーションの進歩を牽引する上で極めて重要な役割を担っています。 コヒーレントの6インチウェーハへの移行は、生産能力の大幅な増加、ダイコストの低減、ウェーハ当たりのデバイス数が4倍以上となるなど、大きなメリットをもたらす見込みです。

Oxford Instrumentsは、完全自動化・高スループットの6インチInP加工装置を供給し、コヒーレントがこれらの顕著な生産性向上を達成することを可能にしました。この先進的な装置は、800Gから1.6T製品への移行を支援するよう設計されており、AIインターコネクトや光通信の需要増大に対応するための重要な要件です。

「当社は長年にわたり、データ通信市場およびコヒーレント社向けInPプラズマエッチング装置の主要サプライヤーです。優れたサービスと共に培った品質、スループット、信頼性を備えた当社の技術は、生成AIアプリケーションの登場により生じている現在のデバイス需要の転換点を支援する理想的な位置付けにあります。 この市場拡大の重要な時期にコヒーレント社と提携できることを大変嬉しく思っており、革新的で価値あるプラズマ処理ソリューションの開発・提供を継続してまいります」 と、Oxford Instruments Plasma Technologyのマネージングディレクター、マット・ケリーは述べました。

「コヒーレントの6インチInPウェハー製造への移行は、業界にとって変革的なマイルストーンです。Oxford Instrumentsのプラズマ処理技術における専門知識は、当社のシャーマン工場およびヤーフェッラ工場が世界クラスの性能を達成する上で不可欠でした」と 、コヒーレントの半導体デバイス担当エグゼクティブバイスプレジデント、ベック・メイソン博士は述べています。 「両社の協力により、高速ネットワーク、高効率化、そして将来の接続性を定義する新たなアプリケーションを支えるInP技術の進化を推進しています」

Oxford Instrumentsとコヒーレントの共同取り組みは、次世代InP光電子デバイスの基盤となる製造プラットフォームの確立に至りました。これらのデバイスは、AIデータセンターやデータ通信トランシーバーから、民生電子機器や自動車技術における高度なセンシングに至るまで、幅広いアプリケーションの重要な基盤技術です。