【Nano Analysisウェビナーのご案内】EBSDウェビナーは来週開催。そしてジョイント企画2件のご案内です
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7月から8月開催予定の「分析機器関連」ウェビナーのご案内です。8月FIB-SEM/サンプリング技術のジョイントウェビナーは後日開催のデモ視聴会も同時受付中です。
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トピックス |
■【ウェビナー】「電子部品、半導体デバイスにおけるEBSD/EDS分析の応用事例」
■【ジョイントウェビナー】日本電子 -
オックスフォード・インストゥルメンツ SEM / EDS / WDS 「ジョイントウェビナー」2021
■【ジョイントウェビナー】日本電子 -
オックスフォード・インストゥルメンツ FIB-SEM / サンプリング技術 「ジョイントウェビナー」2021
■【ウェブサイト】ブログ更新中です
■【ウェブサイト】新しいアプリケーションノートを公開しました |
【ウェビナー】
「電子部品、半導体デバイスにおけるEBSD/EDS分析の応用事例」
7月15日16時より |
「電子部品、半導体デバイスにおけるEBSD/EDS分析の応用事例
」
7月15日（木） 16:00～16:30
電子線後方散乱回折（EBSD）はナノスケールにおいて結晶方位や結晶相分布など、微細構造解析のための有益なツールです。電子部品においては、金属間化合物分布や微細領域でのひずみなどが製品の品質や信頼性を向上させるための重要な特性です。
本ウェビナーでは、ボンディングワイヤーやマイクロバンプ試料でのEBSD解析事例をご紹介いたします。
また低加速電圧で微細構造のEDS分析を実現するウインドウレス型EDS検出器を使用し、SEMを使用した半導体デバイスの解析事例もご紹介いたします。
ご参加に際しては、事前に以下のリンクよりご登録ください： |
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＞ ウェビナーへのお申込みはこちら
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【ジョイントウェビナー】
日本電子 - オックスフォード・インストゥルメンツ
SEM / EDS /
WDS「ジョイントウェビナー」2021
7月21日16時より
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日本電子株式会社とのジョイントウェビナーです。
AZtecWaveの応用事例と新しい機能のご紹介です。
日本電子 - オックスフォード・インストゥルメンツ
SEM / EDS /
WDS「ジョイントウェビナー」2021
7月21日(水) 16:00～17:00
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プログラム
＜ウェビナー1＞ 16:00～16:30
■ ハイスループット汎用SEM
JSM-IT500のご紹介
走査電子顕微鏡
(SEM)は、試料の表面をμmからnmオーダーの領域で観察・分析ができるため、研究開発や品質評価など、幅広い用途で活用されております。その現場でSEMに求められる要望として、測定の迅速性と汎用性が挙げられます。本講演では、それらの要望をもとに開発されたJSM-IT500について紹介します。
迅速性については試料のチャンバーステージへの取り付けから測定までの操作性を、汎用性については大型試料室やOxford
Instruments社製EDS、WDS装着による元素分析を中心に説明します。
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進化するクロスセクションポリッシャTM（CP）
ハイスループットミリングシステム（IB-10500HMS）のご紹介
SEMの観察や分析には、ダメージの少ない試料作製が必要です。Arイオンビームを用いることで最適な断面や表面の試料作製が可能となります。しかしながら、従来機では加工速度が遅くスループットに課題がありました。今回、Arイオンビームによる断面試料作製装置（CP）にハイスループットミリングシステム（HMS）を搭載することで、従来機よりも２倍以上の加工速度を実現しました。本発表では、HMSを用いた短時間加工の事例についてご紹介します。
＜ウェビナー2＞ 16:30～17:00
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新製品 WDS/EDS統合プラットフォームシステム AZtecWaveのご紹介と分析事例
Oxford
Instruments社のAZtecWaveシステムはSEM搭載用の波長分散型X線分析装置(WDS)です。
SEM搭載の分析装置といえばエネルギー分散型X線分析装置(EDS)が一般的です。一方WDSはEDS同じく特性X線の情報をもとに分析を行う装置ですが、EDSの10倍以上のエネルギー分解能と一桁優れた微量元素検出感度を誇ります。本セミナーではJSM-IT500への搭載で得られた分析例をご紹介します。Oxford
InstrumentsのEDS、AZtecLiveと同じプラットフォームで動作するAZtecWaveではEDSとWDSの二つの動きを完全にインテグレーション。AZtecLiveの使いやすさそのままに、WDSの起動・動作確認から分析条件の精査までを確実にサポートする流れもご紹介します。
ご参加に際しては、事前に日本電子株式会社のサイトよりご登録ください：
＞ 日本電子株式会社のサイトはこちら
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【ジョイントウェビナー】
日本電子 - オックスフォード・インストゥルメンツ
FIB-SEM /
サンプリング技術「ジョイントウェビナー」2021
8月6日16時より
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日本電子株式会社とのジョイントウェビナー、第二弾はナノマニピュレーターのご紹介です。
ご紹介した製品の操作をオンラインでご覧になれる「デモ視聴会(8月24日開催)」も同時受付中です！
日本電子 -
オックスフォード・インストゥルメンツ
FIB-SEM/サンプリング技術「ジョイントウェビナー」2021
8月6日(金)
16:00～17:00
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プログラム
＜ウェビナー1＞ 16:00～16:30
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非曝露環境下でのリチウムイオン電池のTEM試料作製
リチウムイオン電池は大気成分と反応しやすいため、大気非曝露下での試料搬送及び試料作製が必要です。今回、全固体リチウムイオン電池のシリコン負極材を試料として、集束イオンビーム装置
(FIB) を用いた非曝露TEM試料作製プロセスをご紹介します。
クロスセクションポリッシャTM (CP)
から直接FIB-SEMへ試料搬送することで平滑なCP断面から試料作製が行え、またFIB試料室にOxford
Instruments社製のオムニプローブを取り付けることにより大気曝露することなく目的の部位から高品質なTEM試料作製が可能となります。
＜ウェビナー2＞ 16:30～17:00
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高性能ナノマニピュレーターOmniProbeの紹介と応用事例
Oxford
InstrumentsのナノマニピュレーターOmniProbeシリーズをご紹介いたします。OmniProbeは優れたリニアリティや安定性を持ち、TEM試料のピックアップやグリッドへの取り付けをスムーズかつ正確に行うことができる他、FIBチャンバー内でのチップ交換が可能で、装置のダウンタイムを最小限に抑えることができます。またEBICやEBACなどの電気テストにも対応します。
EDS・EBSDと組み合わせ、チップ上でのTEM試料のEDS分析
(膜厚測定)
やEBSD分析などの応用事例もご紹介いたします。
ご参加に際しては、事前に日本電子株式会社のサイトよりご登録ください：
＞ 日本電子株式会社のサイトはこちら
[同時受付中] JIB-4700F /
OmniProbeデモ視聴会
開催日時：8月24日(火)
プログラム本セミナーでご紹介するJIB-4700F /
OmniProbeを用いたサンプルピックアップの実際の動作をご紹介するデモ視聴会をWEBにて開催いたします。リアルタイムでご質問、意見交換ができる少人数を設定いたします。デモ視聴会にご参加を希望される方は本セミナーお申し込み時に合わせてお知らせください。
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さらに詳しい情報については下記までお問い合わせください。
オックスフォード・インストゥルメンツ株式会社
分析機器事業部
〒140-0002 東京都品川区東品川
3-32-42 ISビル
Tel: +81 (0) 3 6732 8967
Fax: +81 (0) 3 6732 8939
Email:
na-mail.jp@oxinst.com
URL:nano.oxinst.jp
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オックスフォード・インストゥルメンツについて
Oxford
Instrumentsは、産業用・研究用の高度な技術ソリューションを開発・製造し、グローバルに販売やサポートを展開しています。その歴史は、英国のオックスフォード大学から独立し創業を果たした1959年に遡ります。以来60年以上にわたり、イノベーションは当社の成長と成功の原動力となってきました。次世代半導体・新世代通信・高機能材料・ヘルスケア・ライフサイエンス・量子技術・宇宙科学と、多岐にわたるアプリケーションを通じて、よりグリーンな世界への喫緊の課題解決に、当社のコア技術が採用されています。物性物理研究用の極低温無冷媒希釈冷凍機や超電導マグネットをはじめ、電子顕微鏡用の元素分析装置、レーザーや光学式イメージング装置、更には原子レベルでの半導体プロセス用プラズマ技術でのデポジション・エッチングシステムなど、当社の様々な先端テクノロジー製品をご利用ください。
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