ウェビナー開催

SEMI パートナーサーチ

国内外の半導体製造分野事業を手掛ける装置・材料メーカー（27社）が最新動向を解説するウェビナー「SEMI パートナーサーチ」（主催SEMI）が、2022年7月12日（火）～15日（金）の4日間、オンライン（Zoom）で開催されます。

オックスフォード・インストゥルメンツは、このSEMI パートナーサーチにおいて、7月13日 (水) 15:30～15:55、「EDSを使った低ダメージ分析とEBSD/AFMによる高速構造解析」のテーマでウェビナーを開催します。

聴講は無料です。ぜひご登録の上、ご参加ください。

※「SEMI パートナーサーチ」サイトからのお申込みになります。

開催日時

2022年7月13日（水） 15:30～15:55（25分）

タイトル

「EDSを使った低ダメージ分析とEBSD/AFMによる高速構造解析」

セミナー内容

電子顕微鏡でデバイスの不良解析等を行う場合、試料ダメージの低減や空間分解能の向上のため、低加速・低ビーム電流でのEDS分析が可能なシステムが要求されています。また近年ボンディングワイヤやパッド接合部等の構造解析による品質向上にEBSDが活用されています。それら測定事例を紹介すると共に、AFMを使ったキャパシタンス測定からドーパント濃度を可視化した事例や、ラマン分光を用いた半導体層の応力解析事例等をご紹介します。

会場

オンライン（参加費無料）

講演者

五十嵐 誠（オックスフォード・インストゥルメンツ株式会社　分析機器事業部　アプリケーションスペシャリスト）

※「SEMI パートナーサーチ」サイトからのお申込みになります。

※「SEMI パートナーサーチ」サイトのオックスフォード・インストゥルメンツの紹介ページです。